Polimento de máquinas químicas totalmente automáticas

Resumo:

A polidora química mecânica RTEC CP-6 estuda e caracteriza o processo CMP de forma profissional. Além de polir os wafers e os substratos, o tester também está equipado com um contorno de superfície on-line. Essa combinação fornece informações sobre as causas e formas de mudanças na superfície, atrito, desgaste, etc. O tester também mede vários parâmetros internos, como atrito, rugosidade da superfície, desgaste, etc., para obter uma visão detalhada do processo.

Características:

Microscópio 3D confocal integrado, que pode caracterizar a superfície da almofada de polimento com resolução nm;

2. atrito em linha, processo de polimento de pesquisa de emissão sonora;

Sensores de temperatura em linha;

4. vários tamanhos de wafer podem ser instalados;

Pressão baixa e velocidade controláveis.

A configuração padrão inclui plataformas X, Y para mover a placa entre as posições de polimento e imagem. Além disso, a plataforma XY ajuda a oscilar o wafer durante o processo de polimento. O uso de placas de pressão com acionamento XY permite que muitas combinações de acionamento de eixo criem movimentos personalizados para simular condições de teste próximas de ambientes de produção reais.

Sensores em linha:

Torque - Sensores de torque inline de alta resolução podem alcançar o posicionamento do ponto final e caracterizar a superfície em tempo real;

2. acústica - sinal sonoro que permite terminações qualitativas ou ajuda a detectar fragmentos, defeitos durante o processo de polimento;

Temperatura - O monitoramento on-line da temperatura na placa de solda e nas áreas próximas da superfície polida do wafer ajuda a estudar o mecanismo de remoção.

Carga programável, velocidade:

Para otimizar o processo, o CP-6 permite o uso de software baseado em fórmulas para controlar e alterar força, velocidade e velocidade de fluxo.

Fácil de usar:

O medidor de atrito é equipado com um transportador de mudança rápida para instalar facilmente os wafers e os discos de solda. O software vem com uma fórmula padrão de teste pré-definida ou permite criar facilmente novas fórmulas personalizadas.

Contrômetro 3D online integrado:

A polidora mecânica química Rtec é equipada com um contorno 3D integrado em linha. Otimizada, a superfície da almofada de polimento com resolução nm pode ser caracterizada. O detector está equipado com o modo confocal + o modo interferômetro + os modos campo escuro e campo claro. Isso permite estudar a relação entre mudanças de superfície e tempo em resolução nm. O testador permite a auto-costura em grandes áreas de superfície para o desgaste de volume, cálculo de rugosidade.