Microscópio de medição de ferramentas

Microscópio óptico de medição OlympusIntrodução

Microscópio de medição STM7 altamente confiável

Com base na tecnologia da Olympus de um século

A série de microscópios de medição STM7 baseia-se na tecnologia da Olympus e baseia-se em mais de um século de experiência em pesquisa e desenvolvimento de microscópios e mais de 50 anos de experiência em pesquisa e desenvolvimento de microscópios de medição.

• Tecnologia óptica para obter imagens realistas de amostras extremamente finas.

• Tecnologias de medição avançadas permitem medições precisas de amostras.

• O sistema de foco automático e navegação de foco tornam as medições mais simples e precisas.

• Um sistema completo de rastreabilidade oferece medições confiáveis e confiáveis.

Assim, ao longo dos anos,Microscópio óptico de medição OlympusSempre foi muito favorecido pelos usuários.

STM7Medições precisas através da integração de microscópios ópticos e capacidade de medição avançada

Anos de experiência no desenvolvimento de microscópios permitem um excelente desempenho de observação

Microscópio de medição Olympus STM7A série adota o sistema óptico de correção remota infinita UIS2, usado nos microscópios ópticos atuais. Assim, as imagens observadas apresentam alta resolução e alto contraste e, além disso, as diferenças de imagem são eliminadas para garantir medições de alta precisão de pequenos detalhes.

Imagem de campo claro Imagem de campo escuro

Imagem de interferência diferencial Imagem polarizada

Base de suporte elaborada em granito aumenta a confiabilidade da medição

Para garantir ainda mais a precisão da medição, a série STM7 usa uma estrutura de espelho altamente durável e anti-vibração equipada com uma base de granito. Devido à alta estabilidade do granito, a medição é possível até níveis submicrônicos, garantindo ao mesmo tempo uma redução significativa dos erros.

STM7-LF Análise FEM

Como pioneiro na medição de altura, continua a oferecer alta precisão fácil de operar3Medição do eixo

À medida que as tecnologias modernas de fabricação se tornam cada vez mais miniaturizadas e precisas, a medição de alta precisão também se torna cada vez mais importante - não apenas a medição do plano do eixo XY, mas também a medição de alta precisão na direção do eixo Z. A Olympus desenvolveu com sucessoMicroscópio de mediçãoAs empresas que utilizam sistemas de foco automático com reflexão ativa e enfoque coexistente respondem a essa crescente demanda.

Reflexão ativa, co-foco sistema de foco automático

Sistema de rastreabilidade rigoroso garante qualidade confiável

A Olympus controla a precisão da medição do microscópio através de um sistema rastreável rigoroso. Além disso, a Olympus oferece serviços de calibração rastreáveis ​​durante a instalação do sistema.

Sistema de rastreamento microscópico de medição

STM7Linha

Sistema de medição de 3 eixos com leituras de 0,1 μm em cada modelo

Modelo de foco manual do eixo Z

STM7-SF

Equipado com suporte de 50 mm x 50 mm ou suporte de 100 mm x 100 mm

STM7-MF

Mesa de carregamento com 200mm x 200mm

STM7-LF

Mesa de carregamento com 300mm x 300mm

Modelo de foco elétrico do eixo Z

STM7-SFA

Equipado com suporte de 50 mm x 50 mm ou suporte de 100 mm x 100 mm

STM7-MFA

Mesa de carregamento com 200mm x 200mm

STM7-LFA

Mesa de carregamento com 300mm x 300mm

STM7Foco na facilidade de uso no design

Oferece um suporte de carga adequado ao tamanho da sua amostra

Perguntas frequentes

·Um curso de medição curto não pode atender às necessidades de medição de amostras maiores.

·Até agora, as grandes mesas de carregamento forneceram um percurso de medição suficiente na direção do eixo X, mas o percurso do eixo Y ainda é menor. Durante o processo de medição, a amostra gira para compensar o percurso do eixo Y mais curto do que a cobertura do eixo X, o que é demorado e ineficiente.

·Devido à estreita faixa de medição, não é possível colocar grandes quantidades de amostras emEstação de carregamentopara realizar medições simultâneas.

STM7solução

·Quatro tipos* de mesa de carregamento para percursos de medição quadrados disponíveis (50 mm x 50 mm, 100 mm x 100) mm,200 mm x 200 mm, 300 mm x 300 mm). Seja uma amostra grande ou pequena, há sempre um suporte para a amostra que você deseja medir.

·O uso de um sistema de embreagem permite uma mudança rápida entre ajustes grosseiros e finos. Com essa função de comutação, a mesa de carregamento também pode mover-se rapidamente ao longo dos eixos X e Y e pode ser transportada livremente no plano XY.

·A mesa de carregamento quadrada de 300 mm oferece o mesmo curso de medição nos eixos X e Y, o que significa que todas as medições de grandes amostras, como wafers e placas de circuito impresso de 300 mm, podem ser realizadas sem girar a amostra.

STM7-CS50 (50mm x 50mm) STM7-CS100 (100mm x 100mm)

STM7-CS200 (200 mm x 200 mm) STM7-CS300 (300 mm x 300 mm)

Observações de baixa e alta magnificação com o mesmo microscópio

Perguntas frequentes

·A maioria dos microscópios de medição tradicionais medem apenas objetos ou metafases.ObjetivosNão é possível atender simultaneamente a vários requisitos de observação.

STM7solução

·O STM7 pode usar uma lente de medição instalando um adaptador de lente de medição, que pode ser substituído por uma lente metálica após a rotação da placa. Isso significa que o STM7 combina o sistema óptico metálico e o sistema óptico de medição em um único microscópio de medição. Desta forma, seja para medir amostras grandes ou finas ou amostras com grandes diferenças de altura de superfície, a série STM7 pode corresponder e ajudar o usuário a escolher o método de observação.

Objetivos de medição

Como o objetivo de medição tem uma distância de trabalho muito longa, é possível focar em amostras de superfície maior sem preocupação com o contato entre o objetivo e a amostra. Além disso, graças à baixa capacidade de ampliação do objetivo de medição, um campo de visão maior pode ser observado de uma só vez.

Podemos obter eMicroscópio ópticoAmpliação comparavelmente alta e capacidade de observação de alta resolução. Além disso, além da observação de campo claro, também é possível corresponder a observações de campo escuro, polarização e interferência diferencial.

Objetivo de fase de ouro

Imagem de campo claro Imagem de campo escuro

Escolha entre o foco manual e o foco elétrico

STM7A série inclui duas séries de foco manual e elétrico

O controle de foco está disponível em duas opções, manual e elétrico. Escolha o modelo que atenda às suas necessidades com base nas amostras e medições, sem considerar o tamanho da mesa de carregamento. Todas as estruturas de espelho possuem um padrão Z-axial incorporado e todos os modelos STM7 podem corresponder a medições de 3 eixos.

Modelo de foco manual do eixo Z

O modelo de ajuste manual do eixo Z oferece um benefício de custo: o eixo Z pode ser movido rapidamente para cima e para baixo com o uso de um botão de ajuste amplamente utilizado. Facilita a medição de amostras com uma variedade de alturas.

Modelo de foco elétrico do eixo Z

O uso de dispositivos de foco elétrico pode melhorar significativamente a operabilidade e reduzir a fadiga operacional durante a medição de foco e altura. O design coaxial do botão coaxial com foco grueso permite que o usuário opere de uma forma habitual semelhante à manual, enquanto os modelos elétricos também podem ser equipados com unidades de foco automático.

Uma unidade de controle inovadora melhora significativamente a operabilidade do microscópio de medição

Perguntas frequentes

·Outras funções exigem a adição de unidades operacionais adicionais. O operador não consegue encontrar rapidamente a unidade de operação adequada, reduzindo significativamente a eficiência da medição.

·Vários dispositivos operacionais, caixas de alimentação e caixas de controle estão espalhados ao redor do host, ocupando um espaço de trabalho valioso.

STM7solução

Dispositivo de operação

Para a série de microscópios de medição STM7 da Olympus, praticamente todas as operações de microscópio de medição podem ser realizadas com um único dispositivo de operação, incluindo funções como resetar o contador, controle de iluminação, foco e autofoco. Para maior eficiência e conveniência, você pode colocar o dispositivo em qualquer lugar que quiser e é fácil de operar com uma única mão.

Caixa de controle

A alimentação e a comunicação de cada unidade são integradas em uma única caixa de controle. Mesmo a adição de alguns recursos opcionais, como a navegação focada, não requer a adição de um dispositivo de alimentação adicional, o que reduz significativamente a ocupação do espaço de trabalho.

Para modelos de foco manual do eixo Z: dispositivo de operação manual STM7-HS

Para modelos elétricos de foco do eixo Z: dispositivo de operação elétrica STM7-MCZ

Gerenciador de fontes de luz que melhora significativamente a eficiência de observação e medição

Perguntas frequentes

·O método de regulação do botão analógico usado pelo microscópio de medição tradicional não permite o controle quantitativo da intensidade da luz. Assim, a intensidade da luz não pode ser consistente em cada medição, o que resulta em mudanças nos valores medidos.

·Quando se usa um microscópio de medição tradicional, a intensidade da luz precisa ser ajustada após cada mudança de objetivo, o que torna o fluxo de trabalho muito ineficiente.

STM7solução

Display digital que controla quantitativamente o brilho da fonte de luz

A intensidade da luz do STM7 pode ser quantificada para garantir que as observações e medições sejam sempre realizadas nas mesmas condições.

Sem necessidade de ajustar manualmente a intensidade da luz durante a troca de objetivo
O gerenciador de intensidade de luz pode ser usado em conjunto com a configuração de disco rotativo de objetivos codificados. A placa de rotação com objetivos codificados reconhece automaticamente os objetivos em uso atual e, em combinação com a funcionalidade padrão do gerenciador de fontes de luz, registra o modo de iluminação e a intensidade da luz para cada objetivo. Assim, sempre que a lente é trocada, a intensidade da luz e o modo de iluminação podem ser ajustados automaticamente. Como antes, as operações de ajuste manual da intensidade da luz após cada mudança de magnificação podem ser omitidas agora.

5xIntensidade do objetivo 50 20x Intensidade do objetivo 70 100x Intensidade do objetivo 120

Os contadores removíveis podem ser colocados em qualquer lugar conveniente para garantir que os resultados das medições e o estado do equipamento possam ser verificados rapidamente a qualquer momento.

Perguntas frequentes

·É necessário verificar o estado de funcionamento do dispositivo, como o estado da iluminação, bem como os resultados da medição, porque a exibição em diferentes unidades torna a operação muito complicada.

STM7solução

Contador que confirma o estado atual

O contador é equipado com um indicador que mostra o estado e as configurações do dispositivo, o que facilita a confirmação do estado atualmente configurado do dispositivo. As pequenas unidades dos eixos X, Y e Z podem ser alternadas entre 0,1 μm e 1 μm, além de unidades de exibição que podem ser alternadas entre milímetros, mícrons, polegadas e milhares.

Contador montado no espelho

Contador desmontável livre para atender às necessidades personalizadas

Seja montado em um espelho ou em uma mesa de trabalho, o contador removível pode ser colocado no local preferido de acordo com as condições de uso e os hábitos de uso do usuário. Quando o usuário está de pé para realizar a medição, o contador pode ser instalado no lado do espelho a aproximadamente a mesma altura que a posição de observação para facilitar a observação e a verificação dos resultados. Quando o usuário observa e mede em um monitor com uma câmera digital ou usa um modelo de foco elétrico do eixo Z, simplesmente coloque o contador e o dispositivo de operação na mesa de trabalho para trabalhar facilmente sentado na cadeira.

Contador colocado na mesa de trabalho

Repetibilidade do sistema de foco automático

Medição de altura mais rápida, simples e precisa

Perguntas frequentes

·Ao realizar medições visuais, diferentes operadores podem medir diferentes valores de altura. Além disso, este método de medição é muito demorado e ineficiente.

STM7solução

Sistema de foco de alta precisão, simples e repetitivo

Projetando o padrão dentro do campo de visão e confirmando a coincidência do padrão para cima e para baixo pelo operador, o sistema de navegação focada da Olympus permite operações de medição de altura altamente repetitivas. Quando observações visuais normais realizam medições de altura, até mesmo imagens já focalizadas que parecem muito claras podem apresentar pequenos erros. Com o sistema de navegação focada do STM7, as medições podem ser feitas apenas com marcas de correspondência, reduzindo assim o impacto da subjetividade do operador nos resultados da medição.

Medição de altura visual

Sistema de navegação focado

Abaixo do foco Posição de foco Acima do foco

A vantagem do foco automático permite medições de altura rápidas e de alta precisão

Perguntas frequentes

·Ao realizar medições visuais, os resultados de medição de altura podem ser diferentes para diferentes operadores.

·A medição manual de altura requer que o operador mova o suporte de carga repetidamente, usando o foco do botão, o que torna a medição demorada e ineficiente.

·É difícil focar em objetos pequenos, como fios de chumbo.

STM7solução

Unidade de foco automático: excelente reprodutividade e velocidade de foco

Independentemente da experiência do operador, a unidade de foco automático STM7 permite medições de altura altamente precisas em pouco tempo. Mesmo na superfície áspera ou inclinada da amostra, o foco estável pode ser alcançado usando o método de reflexão ativo e confocalização, enquanto o laser de pequeno diâmetro também garante o foco automático em objetos pequenos, como fios de condução.

Modo de foco único

Após a execução do foco automático, a mudança do foco aproximado para o foco claro no centro do campo de visão pode ser concluída instantaneamente.

Modo de rastreamento

Quando o modo de rastreamento característico é ativado, o foco automático segue os altos e baixos da superfície da amostra, mantendo-se sempre focado, mesmo quando a mesa de trabalho está em movimento. Isso permite que o operador realize observações sem a necessidade de deixar as mãos X e Y, melhorando significativamente a eficiência da medição do eixo Z.

Acessórios para ampliar o alcance de observação e medição

Rotador com objetivo codificado

O uso de uma placa de rotação do objetivo codificado com uma câmera digital mostra a ampliação do objetivo na tela durante a observação para facilitar a gravação da ampliação. Ao mesmo tempo, as configurações podem ser ajustadas com os valores de calibração e a intensidade da luz registrados no software. Há dois tipos de objetivos de campo claro e campo escuro para você escolher

MM6-EMO / exatamente como lente monoscópica

Imagem vertical com um espelho monoscópico. Pode ser usado com o MM6-OCC10× (óculos com linha cruzada).

STM7-FS / Interruptor de pedal

Implementa a transferência de dados sem necessidade de mãos, permitindo que o operador complete a medição sem deixar as mãos das alças X e Y.

SZ-LW61 / Unidade de iluminação LED branca

Tem pequena, leve, longa vida útil, baixo consumo de energia e outras características. Além disso, esta unidade de iluminação LED de alto custo-benefício também não tem piscar e flutuações de brilho.

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED anel de iluminação + unidade de controle manual

A unidade de controle manual SZX-RHS permite iluminação independente em quatro segmentos do dispositivo de iluminação LED anel refletido SZX2-ILR66 e fornece imagens nítidas com temperaturas de cor mais elevadas. A iluminação pode ser escolhida entre 13 modos.

Mesa de carregamento rotativa

O alinhamento paralelo das amostras é fácil com o uso de botões de ajuste fino.

STM7-RS100 para STM7-CS100 100 mm x 100 mm

STM7-RS200 para suporte STM7-CS200 200 mm x 200 mm

STM7-RS300 para suporte STM7-CS300 300 mm x 300 mm

Sistemas projetados para medições mais avançadas

Sistema de suporte à medição

Quanto mais clara for a visão dos dados e imagens da saída do microscópio de medição, mais fácil e rápido será o uso e a medição. O desenvolvimento da nova Olympus impulsiona medições complexas com maior precisãoSoftware de mediçãoA razão está. O software também pode ser usado em combinação com câmeras digitais.

Inicie a medição após a colocação da amostra – sem alinhamento paralelo

Medição direta

Aceita informações de coordenadas da saída STM7 para medição.

Voltar a chamar a medição

As coordenadas obtidas após medições ou cálculos podem ser usadas para medições posteriores. Isso evita a duplicação do mesmo trabalho, permitindo um fluxo de trabalho mais suave e eficiente.

Medição de pontos virtuais

As linhas retas e os círculos podem ser desenhados para formar intersecções, pontos médios, comprimentos e uma série de outras medidas que podem ser mantidas como pontos de referência na imagem da amostra coletada.

Alinhamento de medições

Tanto o ponto de origem quanto o eixo X podem ser ajustados de acordo com a amostra, para que a medição possa ser realizada mesmo quando a amostra não estiver alinhada em paralelo com o suporte.

O eixo original. O novo eixo.

XZMedição do plano

O microscópio de medição tradicional é baseado na medição do plano XY observado a partir de uma visão superior. Para responder à necessidade do usuário de medir a direção da seção a partir de uma perspectiva lateral, a Olympus integrou a capacidade de medição de plano XZ no STM7-BSW. Medições que antes eram difíceis de implementar agora se tornaram muito mais fáceis, como medir o raio de uma seção vertical de um objeto hemisférico ou medir a profundidade de uma ranura com um fundo curvo em comparação com a linha de referência.

Medição do raio de amostras hemisféricas Medição da altura entre o fundo da ranura e a linha de referência

Registrar as medidas repetidas

Registro de macros

Alinhamento e outras etapas de medição frequentemente usadas podem ser combinadas e definidas em um único botão de macro para que não seja necessário começar do zero cada vez que o microscópio é iniciado.

Repetir a medição

Simplesmente movendo a mesa de carregamento e obtendo os valores de coordenadas de acordo com as instruções da lista de instruções registradas, é fácil realizar medições repetidas e concluir todas as tarefas. Esta função pode ser usada para executar repetidamente os mesmos itens de medição com o mesmo tipo de amostra. Além disso, se os valores definidos e as tolerâncias forem definidos na lista de instruções gravadas, o software pode determinar automaticamente quando os valores medidos excedem as especificações.

Exemplo de resultados NG

Repetir a navegação do ponto de medição para realizar medições

Esta função mostra a direção e a distância para o próximo ponto de medição, eliminando assim o sofrimento do operador nesta seção. O recurso também elimina a necessidade de confirmar o próximo ponto de medição no desenho antes de cada movimento, aumentando a velocidade do trabalho do operador quando as medições são repetidas.

Funcionalidade conveniente que elimina os efeitos subjetivos durante a medição

Detecção automática de bordas

Esta função detecta a borda da amostra, obtém automaticamente as coordenadas da amostra e mede-a. Portanto, o operador não precisa mais de coordenadas, reduzindo o impacto da subjetividade do operador na medição. Outra característica da detecção automática de borda é a função de temporização, que permite a obtenção automática de coordenadas após o tempo especificado. A função de temporização e a função de interruptor de pedal permitem que o operador concentre-se na medição sem a mão ter que sair da alça do suporte.

Detecção automática de bordas dentro de círculos Detecção automática de bordas em vários pontos

Eliminação de anormalidades

Durante o processo de detecção de bordas, os pontos anormais, como os rebentos metálicos, podem ser excluídos automaticamente. Desta forma, independentemente do estado da amostra, é obtido um cálculo consistente dos valores de medição. Além disso, os pontos excluídos podem ser exibidos em cores diferentes na tela.

Amostras com pontos anormais Eliminação de pontos anormais

Controle de iluminação

A intensidade da iluminação do microscópio também pode ser controlada com precisão através do software. Ao registrar uma lista de instruções para medições repetidas, as configurações de intensidade de luz também podem ser salvas, permitindo que as medições sejam realizadas nas mesmas condições de iluminação durante medições repetidas ou detecção automática de bordas.

Reconhecimento automático de ampliação (opcional, apenas para configurações com disco rotativo de objetivo codificado)

Usando o disco rotativo de objetivos codificados, os valores de calibração previamente definidos podem ser chamados automaticamente quando os objetivos são trocados. Isso permite que a escala adequada seja sempre exibida no monitor.

Gerar relatórios personalizados

Gerar relatório com um clique

Os resultados das medições podem ser exportados em formato Excel com um clique, o que evita a possibilidade de erros ocorrerem durante o registro dos dados. As imagens também podem ser coladas com os resultados das medições, permitindo gerar relatórios de forma mais eficiente.

Opcional: Função Multi-Image Junction (MIA)

Juntar várias imagens pode obter uma imagem de área ampla com alta ampliação. Como as imagens são feitas com base em dados de coordenadas, o sistema pode produzir imagens de alta confiabilidade.

Opcional: Extensão de Profundidade de Campo (EFI)

Para amostras com formas de superfície desiguais e complexas, a função EFI é muito eficaz para obter imagens com bom foco em toda a faixa de altura. Ao usar o recurso EFI, mover o eixo Z para obter imagens em diferentes posições de foco, processando a imagem e combinando-a em uma imagem com foco total. A síntese automática de imagens com um clique pode ser realizada com o uso de módulos elétricos do eixo Z.