Controlador de fluxo de massa de gás de abastecimento de produção s-300

Introdução

alto desempenhoMFCCriado para a indústria de semicondutores

S300Série de controladores de fluxo de massa digital/Medidor de fluxo: o uso de sensores de fluxo de qualidade industrial desenvolvidos independentemente pela empresa, combinando estruturas de vias de gás finamente polidas e circuitos e algoritmos de controle digital de alta precisão para alcançar controle de alta precisão, baixa deriva zero e alta repetitividade. Este produto é equipado com uma tela de campo e um interruptor de codificação de endereço, uma variedade de métodos de comunicação opcionais, uma selagem totalmente metálica personalizada, adaptada a semicondutores, revestimentos a vácuo, fotovoltaicos e outros ambientes de aplicação.

Principais vantagens

S1Módulos de funções físicas ricas

Configuração superior com módulos de recursos ricos:

* RJ45Interface de comunicação digital(Personalizável

EtherCAToudo RS485Acordo)

* Interruptor de codificação de endereço

* Display ao vivo

* Indicador de estado

Além disso, a configuração lateralO M8Interface de alimentação aérea, exibição intuitiva e fácil de operar, facilitando o monitoramento e controle de tráfego no local.

S2resposta rápida

1,5 milímetrosTempo de resposta do sensor,0,1 ~ 0,5 segundosTempo de resposta do sistema de medição para capturar pequenas mudanças de fluxo em tempo útil.

S3Alta precisão

2.0%-PorcentagemF.S.Alta precisão em todo o intervalo:

0,3% F.S.≤30%F.S.)；1,0% de S.P.＞30%F.S.)

O S4Equipado com máquinas superiores específicas

Equipado com funcionalidades poderosasO SmartflowO software do computador suporta múltiplas conexões para facilitar o monitoramento e a configuração do dispositivo.

O S5Produtos certificados

atravésTÜVInstituições internacionaisCE e EMCcertificação, ouJLYCertificado de calibração de nível 1, etc., em conformidade com vários itensSEMIPadrões.

Especificações do produto

* Salvo indicação em contrário, este produto é marcado nas seguintes condições: nitrogênio, temperatura25℃、2,5 barPressão diferencial(Entrada de ar3,5 barPressão absoluta para saída de ar1bar

pressão absoluta)Instalação horizontal.

* Recomenda-se a instalação de um segmento de tubo recto de tamanho adequado na entrada, caso contrário pode causar desvios de precisão.

* Recomenda-se combinar as juntas maiores possíveis nas extremidades de entrada e saída para evitar perdas adicionais de pressão.

1 O intervalo indicado é um intervalo opcional de nitrogênio.

2 % F.S.Refere-se à percentagem de erros na escala completa.

3% de P.S.Erro como porcentagem do valor definido.

4 Tempo de resposta para alcançar o valor definido ±2%tempo necessário dentro.

5 Pressão de trabalho refere-se à entrada e saída de ar(1bar)pressão absoluta)Para mais detalhes sobre a diferença de pressão entre nós, entre em contato conosco.

Dimensões e comunicação